本報記者 宋智輝
隨著湖南長沙惠科超高純氣體供應項目現(xiàn)場調(diào)試指揮部傳來一個簡單的數(shù)據(jù)——1ppb（即十億分之一的雜質(zhì)含量，目前國內(nèi)最高質(zhì)量標準），遠在廣東廣州的廣鋼氣體遠程數(shù)字化中心沸騰了。所有人都在密切地關注著調(diào)試過程，每一個參數(shù)的跳動都牽動著大家的心跳。這是廣鋼氣體自主研發(fā)的Super-N系列超高純制氮系統(tǒng)優(yōu)化后取得的巨大進步，也是該專利產(chǎn)品被投入商業(yè)化實踐后，助力攻克電子氣體“卡脖子”技術取得的重大突破。
滿足國內(nèi)最高質(zhì)量標準
打響本土氣體品牌
作為國內(nèi)第一家具有超高純電子大宗氣體供應服務能力的氣體企業(yè)，廣鋼氣體繼2018年打破外資壟斷、成功中標安徽滁州惠科公司（簡稱“惠科公司”）超高純氣體項目后，持續(xù)發(fā)力改進技術與設備。2020年，該公司在電子氣體業(yè)務板塊再開新局，成功拿下長沙惠科超高純大宗氣站供應項目。
作為惠科公司在全國布局的第4個生產(chǎn)基地，該項目是湖南長沙瀏陽經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)建設大尺寸超高清顯示屏及OLED顯示屏生產(chǎn)線的重要供氣配套設備，總投資額為320億元。其建成后可為長沙惠科提供ppb級的超高純氣體，并確保其可供性達到100%。該項目在今年3月31日進入調(diào)試收尾階段，制氮機氮氣產(chǎn)量達13400立方米/小時，產(chǎn)品純度達1ppb，比起初合同約定的供氣時間整整提前了1個月。
填補國內(nèi)技術空白
提供“中國芯”保障
高純氮氣是電子行業(yè)不可缺少的基礎性原材料，可用于制造超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、半導體發(fā)光器件和半導體材料等。
廣鋼氣體Super-N系列超高純制氮系統(tǒng)，是國內(nèi)首套具有自主知識產(chǎn)權的超高純氣體制取系統(tǒng)，創(chuàng)造了國內(nèi)超高純后備系統(tǒng)供氣的最短用時紀錄。該系統(tǒng)在2019年成功投產(chǎn)，并于2021年初獲得國家頒發(fā)的發(fā)明專利證書。經(jīng)優(yōu)化設計后，該系統(tǒng)在長沙惠科超高純氣體供應項目再次成功實踐，填補了國內(nèi)制氮裝置出冷箱雜質(zhì)1ppb的空白，滿足了目前國內(nèi)芯片項目對制氮裝置出冷箱產(chǎn)品最嚴格的純度要求，是廣鋼氣體發(fā)展歷程中里程碑式的技術進階，為進一步實現(xiàn)“廣鋼氣體制造中國芯”的目標提供了硬件保障。
打破外資制約
攻克行業(yè)“卡脖子”難題
2021年3月份，工信部等多個部委召開工業(yè)氣體“卡脖子”技術問題協(xié)調(diào)工作會議，協(xié)調(diào)推進解決制約行業(yè)發(fā)展的“卡脖子”技術問題，并指出當前電子氣體市場受制于外資品牌的發(fā)展困境。
廣鋼氣體積極打破行業(yè)壁壘，在與一眾外資巨頭的競爭中培育出內(nèi)資氣體品牌的發(fā)展優(yōu)勢。近幾年，其發(fā)展勢頭更加強勁，其中電子氣體業(yè)務發(fā)展迅猛，在平板顯示、芯片等半導體領域均取得了亮眼的成績，頻頻獲得業(yè)內(nèi)的關注與認可。目前，廣鋼氣體已分別在深圳、滁州建設了3套國內(nèi)領先的ppb級超高純氮氣空分裝置，及ppb級大宗氣體純化系統(tǒng)，形成了強有力的技術堡壘。下一步，廣鋼氣體將充分整合廣州工控資源條件，打造差異化競爭優(yōu)勢，助力解決電子氣體“卡脖子”技術難題，打破半導體高端領域氣體材料的進口制約，集中力量賦能“中國芯”。
《中國冶金報》（2021年5月12日 08版八版）
